对于低真空测量仪器，尤其是武汉离子氮化炉设备，目前，国内外使用的真空计有压缩真空计、电阻真空计和膜片真空计。

　　1.真空测量仪

　　1.压缩旋转真空计

　　压缩旋转式真空计可用于测量炉内不凝气体的压力。测量值具有良好的重复性和准确性，但不能连续测量。由于汞的挥发，不适合长时间与炉相通。每次测量后，应夹紧并密封真空软管。在没有正确的测量仪表的情况下，尤其是工艺试验需要精确测量压力时。

　　2。电阻真空计

　　基于热传导原理的电阻真空计是一种相对便宜的仪器。但在离子渗氮的应用中，由于氢气的存在，其导热系数与氮气和空气相差近7倍，所以测量值误差较大，特别是高压较强时，指示值可超出范围，但也可作为炉极限真空或点火前真空的测试。

　　3.膜片真空计

　　武汉离子氮化炉设备配备的隔膜真空计和国内半自动控制离子氮化设备配备的隔膜真空计都是在隔膜上安装应变元件形成电桥，规管一端接基准真空室，另一端接待测炉体的类型。发现这种真空计与被测气体的成分关系不大，但存在零点漂移、膜片恢复时间长等缺点，且价格相对较高。

　　2.炉膛压力控制系统

　　武汉离子氮化炉的气压是气流动态平衡的结果。炉膛压力控制可通过两种方法实现:固定抽速、调节入口流量或不固定入口流量、调节抽速。