离子氮化炉是利用辉光放电效应对金属零件进行氮化处理用的一种电炉设备。它是一种新的表面热处理工艺，对提高钢铁零件的耐磨性、耐疲劳和抗腐蚀性具有显着效果。

　　离子氮化炉的工作原理是：把被处理的工件放在真空容器内，并与阴极相连，然后把容器内部抽真空到10—1Pa，再冲入少量的氮氢混合奇特。在阴极与阳极之间加上一定电压直流电，使气体发生电离，产生辉光放电。由此产生的氨正离子在电场作用下轰击工件（阴极），将工件表面加热到所需温度，同时在工件表面上夺取电子，与基本金属形成氨化层。

　　辉光放电是稀薄气体放电，也是一种自激放电。它和弧光放电的区别是气体稀薄，阴极是冷电极，阴极区压降较大，其余部位压降较小。工作时，正离子轰击阴极，使之发射电子，在电场作用下电子运动加速，碰撞气体分子，激发气体分子发光和电离，发射的电子少，放电电流小，辉光放电的特点是发光多而发热少。日光灯就是辉光放电的一个应用实例。

　　在与普通气体氮化炉相比，离子氮化炉具有以下优点：处理周期短，产生效率高，耗电小；零件变形小，氮化层无脆性层，不必在处理后再加工；对材料的适用型较广；劳动条件好，对环境污染少。但离子氮化炉用于小孔内壁的氨化处理较困难。在离子氨化的基础上，离子软氨化离子渗氮供渗和离子渗碳等工艺正在发展中。